HFC-236fa
1,1,1,3,3,3-六氟丙烷
代号HFC-236fa，分子式：C3H2F6，为电子工业等离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体。
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1,1,1,3,3,3-六氟丙烷
代号HFC-236fa，分子式：C3H2F6，为电子工业等离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体。
| 化学名称 | 1,1,1,3,3,3-六氟丙烷 |
| 别名 | HFC-236fa |
| CAS号 | 690-39-1 |
| ELINCS号 | 614-909-0 |
| 化学式 | C3H2F6 |
| 结构式 | CF3CH2CF3 |
| 分子量 | 152.04 |
| 外观（常温常压下） | 气体 |
| 颜色 | 无色 |
| 味道 | 无味 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 9120 |
| 大气寿命（年） | 213 |
| TWA（8-hr） | 1000 ppm |
| 化学名称 | 1,1,1,3,3,3-六氟丙烷 |
| 沸点（℃） | -1.4 |
| 凝固点（℃） | -103 |
| 液体密度（@20 ℃,g/cm3） | 1.36 |
| 饱和蒸气压（@25 ℃,kPa） | 272.4 |
| 临界温度（℃） | 124.9 |
| 水中溶解度（@20 ℃） | 2100 |
| 闪点（℃） | 不适用（不可燃） |
| 可燃性（@20 ℃） | 不适用（不可燃） |
| 爆炸极限（%vol) | 不适用（不可燃） |
| 纯度 | 99.9% | 99.99% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10 L | CGA 660/DISS 716 | 9 kg |
| 44 L | CGA 660/DISS 716 | 40 kg |
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